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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Yun Young Kim (Northwestern University)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제47권 제6호
발행연도
2014.12
수록면
287 - 292 (6page)

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The present study deals with a numerical analysis on the island growth of heteroepitaxial thin-films through local surface diffusivity enhancement. A non-linear governing equation for the surface waviness evolution in lattice-mismatched material systems is developed for the case of spatially-varying surface diffusivity. Results show that a flat film that is stable under constant diffusivity conditions evolves to form nanostructures upon externally-induced spatial diffusivity modulation. The periodicity of waviness can be controlled by changing the modulation parameters, which allows for generation of pattern arrays. The present study therefore points towards a post-deposition treatment technique that achieves controllability and order in the structure formation process for applications in nanoelectronics and thin-film devices.

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. EVOLUTION EQUATION
3. NUMERICAL IMPLEMENTATION
4. RESULTS AND DISCUSSION
5. SUMMARY
References

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-581-001003762