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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
유충현 김학성 (한양대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2014년도 추계학술대회
발행연도
2014.11
수록면
562 - 565 (4page)

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A study to reduce the substrate warpage on flash light sintering for copper nanoparticles was investigated. In order to minimize the substrate warpage, two-step flash light sintering method was performed. The flash light sintering process was divided into a preheating step and a main sintering step. To find the optimum sintering conditions of copper nanoparticles, the flash light conditions (irradiation energy, pulse number, on-time and off-time) was varied. The microstructures and transformation crystal phase of the sintered copper nanofilms were analyzed by scanning electron microscopy. In addition, the sheet resistance was measured using a four-point probe method. Also, the thickness of copper nanofilms was measured by alpha-step. From these results, it is found that the flash light sintered copper nanofilms have a low resistivity without any damage to the thin polyimide substrate.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌

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