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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
천인범 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.11
발행연도
2014.11
수록면
999 - 1,006 (8page)

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In this investigation, we explain the sub-sampling technique of white light scanning interferometry (WLSI) to improve the measurement speed. In addition to the previous work using Fourier domain analysis, several methods to extract the height from the correlogram of WLSI are described with the sub-sampling technique. Especially, Fourier-inverse Fourier transformation method adopting sub-sampling technique is proposed and the phase compensation technique is verified with simulation and experiments. The main advantage of sub-sampling is to speed up the measurements of WLSI but the precision such as repeatability is slightly poor. In case of measuring the sample which has high height step or difference, the proposed technique can be widely used to reduce the measurement time.
#White light scanning interferometry(백색광 주사 간섭계) #sub-sampling(서브 샘플링) #aliasing(에일리어싱) #measurement speed(측정 속도) #Fourier transformation(푸리에 변환)

목차

1. 서론
2. 백색광 주사 간섭계에서의 서브 샘플링
3. 시뮬레이션
4. 실험 결과 및 논의
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Flournoy, P. / 1972 / White-light Interferometric Thickness Gauge / Applied optics 11(9):1907~1915 google schola You, J. / 2008 / Optical Inspection of Complex Patterns of Microelectronics Products / CIRP Annals-Manufacturing Technology 57(1):505~508 google schola You, J. / 2012 / Gpu–accelerated White–Light Scanning Interferometer for Large-Area, High–Speed Surface Profile Measurements / Int. Journal of Nanomanufacturing 8(1):31~39 google schola de Groot, P. / 1993 / Three-dimensional Imaging by Sub-Nyquist Sampling of White-Light Interferograms / Optics letters 18(17):1462~1464 google schola P de Groot, P. / 2004 / Signal Modeling for Low-Coherence Height-Scanning Interference Microscopy / Applied optics 43(25):4821~4830 google schola

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