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저자정보
송민아 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 김성환 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제47권 제4호
발행연도
2014.8
수록면
174 - 180 (7page)

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In this study, TiAlSiN coatings have been successfully synthesized on stainless steel and tungsten carbide substrate by a hybrid coating method employing a cathodic arc and a magnetron sputtering source. TiAl and Si target were vaporized with the cathodic arc source and the magnetron sputtering source, respectively. Process gas was the mixture of nitrogen and argon gas. With the increase of Si content, the crystallinity and the grain size of TiAlSiN film was decreased. At the Si content of more than 8 at.%, grain size of TiAlSiN was saturated at around 2 nm. The hardness value of the TiAlSiN film increased with incorporation of Si, and had the maximum value of ~ 3,233 Hv at the Si content of 9.2 at.%. The oxidation resistance of TiAlSiN film was enhanced with the increase of Si content.
#Magnetron Sputtering #Cathodic Arc Deposition #TiAlSiN Coating #Hybrid Process #Oxidation Resistance

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - C. C. Koch / 1999 / / MRS Bul 24 : 146 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - A. A. Voevodin / 2000 / / Thin Solid Films 370 : 223 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - K. H. Kim / 2002 / / Surf. Coat. Technol 298 : 243 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. Veprek / 1999 / / J. Vac. Sic. Technol. A 17 : 2401 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - J. Musil / 2000 / / Surf. Coat. Technol 125 : 322 ~ google schola

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