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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.12
- 수록면
- 1,128 - 1,138 (11page)
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정밀 방진에서 전형적인 문제로 고하중으로 인한 저주파 공진 특성이 있다. 전자기 에어 스프징은 진동 제어 장치이자 능동형 방진 장치이다. 이 연구에서 전자기 에어 스프링은 반도체 생산을 위한 저주파 공진을 제거하는 것을 목적으로 한다. 능동형 방진 장치로 기계 및 전가 부분은 2.5톤의 하 중에 작동되도록 설계하였다. 전자기 스프링은 탄성 공압 챔버 내에 공기압을 이용하여 띄우고, 전자기 된 시스템에 의하면 공진 주파수 영역에서 제어 시간 및 최고 피크가 상당히 줄어들었고, 그 결과 피동형 시스템 상의 고유 진동에 의해 발생되는 공진을 피할 수 있음을 보였다.
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1. [학술지(정기간행물)] - Kato, T. / 2007 / Active Control of a Pneumatic Isolation Table Using Model Following Control and a Pressure Differentiator / Precision Engineering 31 (3) : 269 ~ 275
2. [학술지(정기간행물)] - Shin, Y. H / 2009 / Performance Enhanced of Pneumatic Vibration Isolation Tables in Low Frequency Range by Time Delay Control / Journal of Sound and Vibration 321 (3) : 537 ~ 553
3. [학술대회논문] - Thanh, T. Q / 2008 / An Application of the Novel Linear Magnetic Actuator to Controllable Squeeze Film Damper / Proceedings of the International Conference on Smart Manufacturing Application : 276 ~ 281
4. [학술대회논문] - Han, D. K / 2007 / A Robust Two-time-scale Control Design for a Pneumatic Vibration Isolator / IEEE Conference on Decision and Control : 1666 ~ 1672
5. [학술대회논문] - Tomonori, K / 2007 / Active Control of a Pneumatic Vibration Isolation Table using a Newly Developed Precise and High Response Pressure Regulator / IEEE 22nd International Symposium on Intelligent Control : 497 ~ 502
2. [학술지(정기간행물)] - Shin, Y. H / 2009 / Performance Enhanced of Pneumatic Vibration Isolation Tables in Low Frequency Range by Time Delay Control / Journal of Sound and Vibration 321 (3) : 537 ~ 553
3. [학술대회논문] - Thanh, T. Q / 2008 / An Application of the Novel Linear Magnetic Actuator to Controllable Squeeze Film Damper / Proceedings of the International Conference on Smart Manufacturing Application : 276 ~ 281
4. [학술대회논문] - Han, D. K / 2007 / A Robust Two-time-scale Control Design for a Pneumatic Vibration Isolator / IEEE Conference on Decision and Control : 1666 ~ 1672
5. [학술대회논문] - Tomonori, K / 2007 / Active Control of a Pneumatic Vibration Isolation Table using a Newly Developed Precise and High Response Pressure Regulator / IEEE 22nd International Symposium on Intelligent Control : 497 ~ 502
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