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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제16권 제3호
발행연도
2006.3
수록면
307 - 312 (6page)

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In this study a vibration isolation system with the cradle-type support was designed so as to reduce the transient vibration due to positioning motion of the moving mass on worktable as well as to achieve the desired isolation efficiency on the floor vibration. The design procedure was performed in the two steps. The first step to select appropriate isolators to meet the isolation efficiency, and the second step is to reduce the transient vibration of the worktable by adopting the cradle-type support. After the application of the selected isolators with the cradle-type support to the system it was shown that the required vibration criterion(VC-D) was easily satisfied and that the undesirable transient vibration was reduced remarkably.
#수직 및 수평 진동 절연 #요람형 지지대 설계 #정밀 장비 #진동 절연 #Cradle-type Support Design #Vertical and Horizontal Vibration Isolation #Vibration Isolation #Vibration-sensitive Euipment

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[학술지(정기간행물)] - / spie / Vol. 1619 ca : 71 ~ 85 google schola [학술지(정기간행물)] - / pp.12-22. / Sources of Vibration in a Semi-conductor Factory and the Program for Vibration Isolation 4 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2004 / The Newport Resource 2004 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1992 / Experi-mental Behavior Analysis of Double Isolated Anti-vibration System 2 : 281 ~ 292 google schola

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