지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문에서는 클린 룸 환경의 생산 설비에서 발생하는 미세입자, 온도, 습도 값을 측정하여 블루투스 통신을 통해 전송하는 4-채널 미세입자 계수기를 개발하였다. 이를 위해 광학 렌즈와 입자 검출 챔버를 설계하고, 미세 검출 회로를 다채널로 설계하여 0.3μm에서 5μm 내외의 미세 입자를 측정할 수 있도록 하였다. 그리고 측정된 값을 상시 모니터링 하기 위해 FMS(Facility Monitoring Systems) 프로그램을 개발하고, 실험을 통해 개발된 시스템이 안정적으로 동작함을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
Fischer, R. / 2009 / Absorption and scattering of 1. 06μm laser radiation from oceanic aerosols / Applied Optics 48(36):6990~6999
Wang, S. F. / 2009 / Small-displacement sensing system based on multiple total internal reflections in heterodyne interferometry / Applied Optics 48(13):2566~2573
H. C. van de Hulst / 1981 / Light scattering by small particles / Wiley :1~470
(주)라이다텍 / 미세입자 측정용 레이저 입자 계수기 / 한국/20-2004-0021479, 특허
李榮周 / 2003 / 마이크로 프로세서로 손쉽게 구현 가능한 브러쉬리스 직류(Brushless DC)-전동기 제어 알고리즘 / 전자공학회논문지 - IE 40(3):64~72
Wang, S. F. / 2009 / Small-displacement sensing system based on multiple total internal reflections in heterodyne interferometry / Applied Optics 48(13):2566~2573
H. C. van de Hulst / 1981 / Light scattering by small particles / Wiley :1~470
(주)라이다텍 / 미세입자 측정용 레이저 입자 계수기 / 한국/20-2004-0021479, 특허
李榮周 / 2003 / 마이크로 프로세서로 손쉽게 구현 가능한 브러쉬리스 직류(Brushless DC)-전동기 제어 알고리즘 / 전자공학회논문지 - IE 40(3):64~72
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-560-001352727