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저자정보
이혁교 (한국표준과학연구원) 김영식 (한국표준과학연구원) 이주형 (한국표준과학연구원) 양호순 (한국표준과학연구원) 이윤우 (한국표준과학연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.3
발행연도
2014.3
수록면
199 - 205 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

고경사 자유곡면 측정을 위한 파장변조 층밀리기 간섭계
이혁교 ,  김영식 ,  이주형 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.03 학술저널

2013

서브마이크로급 자유곡면 측정을 위한 파장변조 층밀리 기간섭계
이혁교 ,  김영식 ,  이주형 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013.10 학술대회자료

초록· 키워드

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We propose a new variant of lateral shearing interferometer with a tunable laser source that enables 3D surface profile measurements of freeform optics with high speed, high vertical resolution, large departure, and large field-of-view. We have verified the proposed technique by comparing our measurement result with that of an existing technique and measuring a representative sample of freeform optics. Moreover, we propose a new algorithm that is able to compensate the rotational inaccuracy.
#Freeform measurement(자유곡면 측정) #Lateral shearing interferometer(층밀리기 간섭계) #Wavelengthscanning(파장변조)

목차

1. 서론
2. 층밀리기 간섭계 구성
3. 측정 결과
4. 직교성 오차 보정
5. 모핑(Morphing) 적용
6. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
Wyant, J. C. / 1973 / Double Frequency Grating Lateral Shear Interferometer / Appl. Opt. 12(9):2057~2060 google schola Rimmer, M. P. / 1974 / Method for Evaluating Lateral Shearing Interferometer / Appl. Opt. 13(3):623~629 google schola Lee, H. -H. / 2003 / Phase-Shifting Lateral Shearing Interferometer with Two Pairs of Wedge Plates / Opt. Lett. 28(22):2243~2245 google schola Liang, P. / 2006 / Two-dimensional Wave-Front Reconstruction from Lateral Shearing Interferograms / Opt. Express 14(2):625~634 google schola Ettl, S. / 2008 / Shape Reconstruction from Gradient Data / Appl. Opt 47(12):2091~2097 google schola

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