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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 292 - 296 (5page)
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Two-photon photopolymerization has recently been used for the fabrication of micro parts for microassembly. In order to increase assembly success rate, fabrication errors need to be reduced at a certain tolerance level. However, such a research for fabrication accuracy of micro part in two-photon photopolymerization is very rare. Generally, there exist several causes: reflecting mirror rotated off-axis, position error of laser scanner induced by incorrect arrangement of optical setup, laser pointing instability, laser power irregularity and mechanical stage movement errors. This paper aims at reduction of both length and angle errors within respectively, 10 percents and 5 degrees. A 10 micro-meter rod and 10 micro-meters cross shape are used for the length and angle error.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 구성 및 방법
3. 틸트 미러 구동에 따른 레이저 초점의 위치 오차 측정 및 해결
4. 실험 결과
5. 결론
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-500-001137259