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황순휘 (성균관대학교) 강준모 (성균관대학교) 최성 (성균관대학교) 박영철 (성균관대학교) 이덕진 (성균관대학교) 최재붕 (성균관대학교)
저널정보
(사)한국CDE학회 한국CDE학회 학술발표회 논문집 한국CADCAM학회 2012 학술발표회 논문집
발행연도
2012.2
수록면
856 - 861 (6page)

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최근 그래핀의 높은 광학적, 전기적 특성을 이용하여 투명전극으로 응용하는 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 화학 기상 증착법을 통하여 그래핀을 합성하고, 금 격자 패터닝과 AuCl3-CH3NO2 도펀트를 이용하여 그래핀의 면저항을 개선하였다. 금 격자-그래핀의 하이브리드 구조는 8 Ω/□ 면저항 특성을 나타내었으며, 이는 기존의 그래핀 한층 면저항 값인 350 Ω/□ 보다 매우 낮은 값을 나타내었다. 또한 그래핀의 적층과 화학적 도핑을 통해 추가적으로 6 Ω/□ 수준의 면저항 값을 확인하였다. 이를 통하여 낮은 면저항을 요구하는 투명 전극 분야에 그래핀-금 격자 하이브리드 구조를 적용 가능할 것으로 예상한다.

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