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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
채종윤 (호서대학교) 윤종국 (엠파워) 강옥구 (하예성엔지니어링) 류봉조 (한밭대학교) 구경완 (호서대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제63권 제2호
발행연도
2014.2
수록면
319 - 324 (6page)

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The wafer carrier is made of PP, PC, PE resin which have excellent heat and chemical resistance and electrical properties. However, particle generation has become a problem due to static electricity generated in the carrier. Some conductive material such as carbon black (CB) and carbon fiber (CF) are added for the purpose of anti-static, however, additional for motility and particle contamination problems due to high carbon content occurs. In this paper, the electrical characteristics and workability are observed and compared by adding low Carbon Nono Tube(CNT) to each PP, PC and PE resin to solve the problem.

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 본론
3. 결론
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