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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 51 - 57 (7page)
이용수
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초음파 임프린팅은 열가소성 고분자 기판에 미세패턴을 복제할 수 있는 공정으로 타 성형방법에 비해 에너지소모가 적고 성형시간이 단축되는 장점이 있다. 초음파 임프린팅 공정에서는 고분자 기판의 표면에 초음파 진동에너지를 인가하여 소재간의 마찰열과 미세하게 반복되는 변형에너지의 축적을 통해 고분자 표면을 국부적으로 가소화시켜 미세패턴이 전사된다. 본 연구에서는 초음파 임프린팅에서 금형 온도가 미세패턴의 전사성에 미치는 영향을 분석하였다. 이를 위해 금형온도를 변화시켜가며 임프린팅을 수행하여 미세패턴 성형 영역에서의 온도변화를 관찰하였고, 상기 온도변화를 고려하여 미세패턴의 충진과정을 전산모사를 통해 고찰하였다. 또한 금형온도 변화에 따른 패턴의 전사율 및 전사균일도를 측정하여 비교하였다. 상기 결과를 통해 금형온도를 높일수록 초음파 임프린팅시 미세패턴의 전사특성이 향상됨을 확인할 수 있었다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 초음파 임프린팅을 이용한 미세패턴 성형
3. 금형온도에 따른 임프린팅 특성 고찰
4. 금형온도에 따른 임프린팅 결과 분석
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - Lan, H. / 2007 / Review of the Wafer Stage for Nanoimprint Lithography / Microelec. Eng 84 (4) : 684 ~ 688
2. [학술지(정기간행물)] - Becker, J. / 2000 / Hot Embossing as a Method for the Fabrication of Polymer High Aspect Ratio Structures / Sens. Actuators A 83 (1-3) : 130 ~ 135
3. [학술지(정기간행물)] - Giboz, J. / 2007 / Micro-Injection Molding of Thermoplastic Polymers: a Review / J. Micromech. Microeng 17 (6) : R96 ~ R109
4. [학술지(정기간행물)] - Park, K. / 2010 / Localized Mold Heating with the Aid of Selective Induction for Injection Molding of High Aspect Ratio Microfeatures / J. Micromech. Microeng 20 (3) : 035002 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Lin, C. H / 2007 / Effects of mold Geometries and Imprinted Polymer Resist Thickness on Ultrasonic Nanoimprint Lithography / J. Micromech. Microeng 17 (7) : 1220 ~ 1231
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3. [학술지(정기간행물)] - Giboz, J. / 2007 / Micro-Injection Molding of Thermoplastic Polymers: a Review / J. Micromech. Microeng 17 (6) : R96 ~ R109
4. [학술지(정기간행물)] - Park, K. / 2010 / Localized Mold Heating with the Aid of Selective Induction for Injection Molding of High Aspect Ratio Microfeatures / J. Micromech. Microeng 20 (3) : 035002 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Lin, C. H / 2007 / Effects of mold Geometries and Imprinted Polymer Resist Thickness on Ultrasonic Nanoimprint Lithography / J. Micromech. Microeng 17 (7) : 1220 ~ 1231
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