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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박대광 (Chosun University) 곽남수 (Chosun University) 권대주 (Iksan Campus of KOREA PLOYTECHNIC) 김재열 (Chosun University)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.22 No.6
발행연도
2013.12
수록면
982 - 988 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2016

에러보상스테이지의 재현성 실험 및 초정밀 선삭가공
박대광 ,  김재열 ,  유신 한국트라이볼로지학회 학술대회 2016.04 학술대회자료

2015

글로벌스테이지의 재현성 실험 및 초정밀 선삭가공
박대광 ,  김재열 ,  윤성운 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2015.10 학술대회자료

2013

초정밀 선삭가공을 위한 글로벌스테이지의 재현성 실험
박대광 ,  곽남수 ,  권대주 외 1명 한국생산제조학회지 2013.12 학술저널
초정밀 선삭가공을 위한 글로벌스테이지의 재현성 실험
박대광 ,  김재열 ,  권대주 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.10 학술대회자료

초록· 키워드

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With conventional positioning apparatus, it is very difficult to simultaneously achieve the desired driving range and precision at the sub-micrometer level. Generally, lead screw and friction drive, etc., have been used as servo control systems. These have large driving ranges, and high-speed positioning is feasible. In this study, we present a global servo system controlled by a laser interferometer acting as a displacement measurement sensor for achieving positioning accuracy at the sub-micrometer level.
#Global stage #Ultra precision cutting unit #Linear motion #Laser interferometer #Capacitive sensor

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 고정밀 선반 본체 설계
3. UP3 Global stage의 이동시스템 계측원리
4. Global stage의 이동시스템 성능시험 평가
5. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Wang, Y. / 2011 / Ultra-precision machining of Fresnel microstructure on die steel using single crystal diamond tool / Journal of materials processing technology 211 (12) : 2152 ~ 2159 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Ikawa, N. / 1991 / Ultraprecision Metal Cutting-the Past, the Present and the Future / CIRP annals manufacturing technology 40 (2) : 587 ~ 594 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - HLeung, T. P. / 1998 / Diamond turning of silicon substrates in ductile-regime / Journal of materials processing technology 73 (1/3) : 42 ~ 48 google schola 4. [학술대회논문] - Yu, J. / 1994 / Ultraprecision diamond turning of optical crystals / Proceedings of SPIE-the international society for optical engineering : 51 ~ 61 google schola 5. [기타자료] - Renishaw / 2009 / Renishaw Laser Interferometer System Manual Ver. 2.1 / Renishaw plc google schola

이 논문의 저자 정보

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차량측면 도어용 임팩트 빔의 형상 설계 및 평가
김재열 ,  곽남수 ,  고가진 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2014 .04

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