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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Shinhee Jun (University of Ulsan) Junho Kim (Korea Institute of Industrial Technology) Sunkwang Kim (University of Ulsan) Yong zoo You (University of Ulsan) Byungchul Cha (Korea Institute of Industrial Technology)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제46권 제5호
발행연도
2013.10
수록면
187 - 191 (5page)

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Niobium nitride (NbN) films were deposited on AISI 304 stainless steels by inductively coupled plasma (ICP) assisted dc magnetron sputtering method at different ICP powers, and the effects of ICP power on the phase formation, mechanical and chemical properties of the films were investigated. X-ray diffraction analysis (XRD) and field emission scanning electron microscopy (FESEM) were used to analyze the crystal structure and micro-knoop hardness was used to measure the hardness of the films. Also, 3-D mechanical profiler and a ball-on-disk wear tester were used to measure the thickness of the films and to estimate wear characteristics, respectively. The thickness of the films decreased but their hardness increased with increasing ICP power, and it was confirmed that only cubic δ-NbN(200) remained at high ICP power. At lower ICP powers, a mixture of the hexagonal δ"-NbN and cubic δ-NbN phases was obtained in the films and the hardness decreased. The corrosion potential value increased gradually with increasing ICP power, but the changes of ICP power did not significantly influence the overall corrosion resistance.
#NbN thin films #Inductively coupled plasma (ICP) #Reactive magnetron sputtering

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusion
References

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Z. Han / 2004 / / Surf. Coat. Technol 179 : 188 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. J. Olaya / 2008 / / Thin Solid Films 516 : 8319 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - D. B. Lewis / 2006 / / Thin Solid Films 503 : 133 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - P. E. Hovsepian / 1999 / / Surf. Coat. Technol. 116-119 : 727 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - V. N. Zhitomirsky / 1999 / / Surf. Coat. Technol. 120-121 : 219 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-580-003495089