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학술저널
저자정보
심종엽 (한국기계연구원) 박천홍 (한국기계연구원) 송창규 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.12
발행연도
2013.12
수록면
1,313 - 1,320 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

초정밀 유정압 베어링 이송 테이블의 나노미터 위치결정 제어에 관한 연구
심종엽 ,  박천홍 ,  송창규 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013.12 학술저널

2010

유정압 베어링 이용 초정밀 가공기의 나노미터 영역 제어에 관한 연구
심종엽 ,  송창규 ,  박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2009

유정압베어링 이용 초정밀 롤 금형 가공기의 열적 특성 평가 및 분석
심종엽 ,  오정석 ,  송창규 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.06 학술대회자료

초록· 키워드

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An ultraprecision multi-axis machine tool has been designed and developed in our laboratory. The machine tool has four moving axes which are composed of three linear axes and one rotational axis. It has a gantry type structure and the Z-axis is on the X-axis and the C-axis, on which a workpiece is located, is inside the Y-axis. This paper shows control performance improving method and procedure for the ultra-precision positioning control of a hydrostatic bearing guided linear axis. Through improvements of electrical and mechanical components for the control system such as control electronics and oil pumping systems, the control disturbing noise is decreased. Also by the frequency domain analysis of control system those problem-making system components are identified and modified with analytical methods. The controller is analyzed and designed from frequency domain data and system information. In the experimental control results the nanometer order control result is successfully presented.
#Ultraprecision Machine Tool (초정밀가공기) #Hydrostatic Bearing (유정압베어링) #Nanometer Positioning Control (나노미터 위치결정 제어) #Frequency Domain Analysis (주파수영역 분석) #Control System Analysis (제어시스템 분석)

목차

1. 서론
2. 이송 테이블의 나노미터 위치결정 제어특성
3. 제어 시스템 분석 및 성능 향상 설계
4. 제어 실험 결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
Park, C. H. / 2008 / Large Surface MicroMachining System / Journal of the KSME 48(10):34~38 google schola Yamamoto, Y. / 2007 / Precision Grinding of MicroFresnel Lens Molding Die / Journal of the JSPE 73(6):688~692 google schola Gao, W. / 2003 / Precision Nano-fabrication andEvaluation of a Large Area Sinusoidal Grid Surface for a Surface Encoder / Precision Engineering 27(3):289~298 google schola Hwang, J. / 2007 / AThree-Probe System for Measuring the Parallelismand Straightness of a Pair of Rails for Ultra PrecisionGuideways / International Journal of Machine Toolsand Manufacture 47(7):1053~1058 google schola Carlisle, K. / 2012 / Machine Tool Developments in UltraPrecision Manufacturing google schola

이 논문의 저자 정보

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