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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
곽태수 (경남과학기술대학교) 정명원 (경남과학기술대학교) 김건희 (한국기초과학지원연구원) 곽인실 (전남대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.12
발행연도
2013.12
수록면
1,237 - 1,243 (7page)

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This study has focused on the effect of ultrasonic vibration table in ELID grinding process of aluminum nitride ceramics. Aluminum nitride ceramics has superior physical and chemical properties and widely used in IC, LSI substrate, package and so on. To achieve the high effective machining of brittle and high strength ceramics as like aluminum nitride, machining method combined ELID grinding and ultrasonic vibration has been adopted in this study. From the experimental results, material removal rate, MRR has been increased maximum 36 percent and spindle resistance has been decreased in using ultrasonic table. Surface roughness of ground surface became a little worse in using ultrasonic table but was somewhat improved in feed direction.

목차

1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (1)

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