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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 989 - 998 (10page)
이용수
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본 논문에서는 매우 작은 절대 값을 갖는 펨토 패럿 단위의 커패시턴스를 측정 할 수 있는 비율형 커패시턴스 측정 회로를 제안하였다. 제안한 측정 회로는 스위치 커패시터 적분기와 비교기 그리고 스위치를 제어하는 논리 회로와 카운터로 구성되어 있으며, 측정하고자 하는 커패시턴스와 이미 값이 알려진 온-칩 커패시터간의 비율을 측정하고 그 값을 디지털 신호로 출력한다. 그리고 이 비율 값을 통해 오차가 상당부분 제거된 펨토 패럿 단위의 커패시턴스를 구해낼 수 있다. 제안한 커패시턴스 측정 회로는 표준 CMOS 0.18㎛ 공정을 사용하여 설계되었으며, HSpice 시뮬레이션에서 5fF 이하의 아주 작은 커패시턴스를 오차율 ±0.3% 이내에서 측정이 가능함을 보였다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 제안하는 커패시턴스 측정 방식
Ⅲ. 회로 구성
Ⅳ. 오차 발생 요인과 대응 방안
Ⅴ. 시뮬레이션 및 구현
Ⅵ. 결론
참고문헌
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1. [학술대회논문] - B. George / 2009 / Novel Switched - Capacitor Dual Slope Capacitance to Digital Converter for Differential Capacitive Sensors / Proc. I2MTC 2009
2. [학술대회논문] - C. T. Chiang / 2008 / A Monolithic CMOS Autocompensated Sensor Transducer for Capacitive Measuring Systems / Proc. IEEE Transactions on instrumentation nd measurement 57 (11)
3. [학술대회논문] - N. M. Mohan / 2006 / Digital Converter for Differential Capacitive Sensors / Proc. IMTC 2006
4. [학술지(정기간행물)] - D. S. Lee / 2002 / Integral C-V Converter for a Fully Differential Capacitive Pressure Sensor / 전자공학회논문지 SD편 38 (9)
5. [학술지(정기간행물)] - P. Vitanov / 1991 / Direct capacitance measurements of small geometry MOS transistor / Microelectronics Journal 22 (1991) : 77 ~ 89
2. [학술대회논문] - C. T. Chiang / 2008 / A Monolithic CMOS Autocompensated Sensor Transducer for Capacitive Measuring Systems / Proc. IEEE Transactions on instrumentation nd measurement 57 (11)
3. [학술대회논문] - N. M. Mohan / 2006 / Digital Converter for Differential Capacitive Sensors / Proc. IMTC 2006
4. [학술지(정기간행물)] - D. S. Lee / 2002 / Integral C-V Converter for a Fully Differential Capacitive Pressure Sensor / 전자공학회논문지 SD편 38 (9)
5. [학술지(정기간행물)] - P. Vitanov / 1991 / Direct capacitance measurements of small geometry MOS transistor / Microelectronics Journal 22 (1991) : 77 ~ 89
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