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화학적으로 안정한 과불화합물을 처리하기 위해서는 많은 양의 에너지를 필요로 한다. 이러한 단점을 극복하기 위해서 저전력 아크 플라즈마 시스템을 개발하였다. 분해대상은 CF₄, SF?, NF₃가 플라즈마 토치로 직접 주입되었으며, 아크 플라즈마 토치의 열효율을 측정하여 실출력을 계산하였다. 실출력과 폐기체 유량 변화 그리고 추가적인 반응가스에 의한 분해효율을 확인하였다. 또한 열역학적 평형조성 분석을 수행하여 실험 결과와 비교하였다. 토치의 열효율은 60~66%의 결과를 보였으며 폐가스 유량이 증가함에 따라 분해효율이 감소하였고 입력전력이 늘어남에 따라 분해효율이 상승되었다. 추가적인 반응가스가 없이 CF₄, SF?, NF₃의 분해효율은 입력전력이 3 kW, 폐가스 유량이 70 L/min인 조건에서 각각 4, 15, 90%를 보였다. 반응가스로 산소와 수소를 이용하여 분해효율을 급격하게 증가시킬 수 있었으며, 실험 결과 산소보다 수소를 사용하였을 경우가 분해효율 상승효과와 부산물 제어에 효과적인 것을 알 수 있었다. 수소의 경우, 발생되는 부산물은 불화수소산이었으며 이는 일반적인 습식 스크러버를 이용하여 처리가 용이한 물질이다. 수소를 이용한 화학반응에서 입력전력이 3 kW, 폐가스유량이 100 L/min인 조건에서 CF₄가 25%, SF?가 39%, NF₃가 99%의 분해효율을 각각 나타냈다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (15)
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1. [인터넷자원] - / / http://unfccc.int/key_steps/bali_road_map/items/6072.php
2. [학술지(정기간행물)] - Gupta, J. / 2003 / The Role of Scientific Uncertainly in Compliance with Kyoto Protocol to the Climate Change Convention / Environ. Sci. Policy 6 : 475 ~ 486
3. [학술지(정기간행물)] - Chang, M. . B. / 2006 / Abatement of PFCs from Semiconductor Manufacturing Processes by Nonthermal Plasma Technologies: A Critical Review / Ind. Eng. Chem. Res. 45 : 4101 ~ 4109
4. [학술지(정기간행물)] - Mohindra, V. / 1997 / Abatement of Perflourocompounds (PFCs) in a Microwave Tubular Reactor Using O2 as an Additive Gas / IEEE Trans. Semicond. Manuf. 10 : 399 ~ 411
5. [학술지(정기간행물)] - Radoiu, M. T. / 2004 / Studies on Atmospheric Plasma Abatement of PFCs / Radiat. Phys. Chem. 69 : 113 ~ 120
2. [학술지(정기간행물)] - Gupta, J. / 2003 / The Role of Scientific Uncertainly in Compliance with Kyoto Protocol to the Climate Change Convention / Environ. Sci. Policy 6 : 475 ~ 486
3. [학술지(정기간행물)] - Chang, M. . B. / 2006 / Abatement of PFCs from Semiconductor Manufacturing Processes by Nonthermal Plasma Technologies: A Critical Review / Ind. Eng. Chem. Res. 45 : 4101 ~ 4109
4. [학술지(정기간행물)] - Mohindra, V. / 1997 / Abatement of Perflourocompounds (PFCs) in a Microwave Tubular Reactor Using O2 as an Additive Gas / IEEE Trans. Semicond. Manuf. 10 : 399 ~ 411
5. [학술지(정기간행물)] - Radoiu, M. T. / 2004 / Studies on Atmospheric Plasma Abatement of PFCs / Radiat. Phys. Chem. 69 : 113 ~ 120
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