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본 연구에서는 초음파원자현미경 캔틸레버의 접촉 공진주파수를 이용하여 실리콘 웨이퍼와 나노스케일의 폴리머 박막 패턴의 접합면 사이에서 나타나는 접합 특성을 UAFM 이미지를 통해 평가하였다. 이를 위해 실리콘 웨이퍼의 표면 처리 공정을 다르게 하였고 리소그래피 공정을 통해 300 nm의 폴리머 박막 패턴을 제작하였다. 제작된 시험편의 접합 상태를 광학현미경 이미지를 통해 서로 비교하였고 나노 스크래치 시험의 임계하중 값을 통하여 나노 패턴의 접합 상태를 검증하였다. 각각의 시험편에 대해 UAFM을 이용하여 1 ㎛ × 1 ㎛ 크기의 표면 이미지와 표층부의 접합상태 이미지를 각각 얻었고 접촉 공진주파수의 진폭과 위상의 변화로 인한 접합부의 이미지 콘트라스트 차이로 접합 상태를 평가하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 이론적 고찰
3. 실험 장치 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (17)
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1. [학술지(정기간행물)] - K. Yamanaka / 1999 / Quantitative material characterization by ultrasonic AFM / Surface Interface Analysis 27 : 600 ~ 603
2. [학술지(정기간행물)] - S. Hu / 2011 / Imaging of subsurface structures using atomic force acoustic microscopy at GHz frequencies / Applied Physics 109 (8) : 084324 ~
3. [학술지(정기간행물)] - U. Rabe / 1996 / Vibrations of free and surface-coupled atomic force microscope cantilevers: Theory and experiment / review of science instruments 67 (9) : 3281 ~ 3293
4. [학술지(정기간행물)] - K. Yamanaka / 1994 / Ultrasonic force microscopy for nanometer resolution subsurface imaging / Applied Physics Letters 65 (2) : 178 ~ 180
7. [학술지(정기간행물)] - Z. Shan / 2003 / Elastic–plastic characterization of thin films using nanoindentation technique / Thin Solid Films 437 : 176 ~ 181
2. [학술지(정기간행물)] - S. Hu / 2011 / Imaging of subsurface structures using atomic force acoustic microscopy at GHz frequencies / Applied Physics 109 (8) : 084324 ~
3. [학술지(정기간행물)] - U. Rabe / 1996 / Vibrations of free and surface-coupled atomic force microscope cantilevers: Theory and experiment / review of science instruments 67 (9) : 3281 ~ 3293
4. [학술지(정기간행물)] - K. Yamanaka / 1994 / Ultrasonic force microscopy for nanometer resolution subsurface imaging / Applied Physics Letters 65 (2) : 178 ~ 180
7. [학술지(정기간행물)] - Z. Shan / 2003 / Elastic–plastic characterization of thin films using nanoindentation technique / Thin Solid Films 437 : 176 ~ 181
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