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본 논문에서는 RFIC 설계에 응용 가능한 인덕터의 Quality factor 및 Effective inductance를 비교 분석하기 위해 Octagonal 인덕터를 90nm CMOS 공정을 이용하여 제작하였다. 내부반경을 설계변수로 갖는 인덕터의 경우 내부반경이 증가함에 따라 Quality factor가 감소하고 Effective inductance의 값이 증가하였다. 회전수를 설계변수로 갖는 인덕터의 경우 금속의 회전수가 증가함에 따라 Quality factor의 값이 감소하고 Effective inductance의 값이 증가하는 것을 확인하였다. 따라서 RFIC 회로 설계에 있어서 인덕터의 구조는 Q-factor 및 inductance 각각의 상대적 중요도에 따라 선택 되어져야 된다고 할 수 있다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 소자 제작 및 측정 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (9)
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1. [학술지(정기간행물)] - A. M. Niknejad / 1998 / Analysis, Design, and Optimization of Spiral Inductors and Transformers for Si RF IC`s / IEEE Journal of Solid State Circuits 33 (10) : 1470 ~ 1481
2. [학술지(정기간행물)] - C. Patrick / 2000 / Physical Modeling of Spiral Inductors on Silicon / IEEE Transactions on Electron Devices 47 (3) : 560 ~ 568
4. [학술지(정기간행물)] - H. W. Chiu / 2006 / Temperature and Substrate Effects in Monolothic RF Inductors on Silicon With 6μ m-Thick Top Metal for RFIC Applications / IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 19 (3) : 316 ~ 330
5. [학술대회논문] - 차준영 / 2008 / On-Wafer 패드 및 금속 배선의 De-embedding이 RF 트랜지스터 특성에 미치는 영향 / RF 집적회로 기술 워크샵 : 417 ~
6. [학술지(정기간행물)] - T. E. Kolding / 2000 / A four-step method for de-embedding gigahertz on-wafer CMOS measurements / IEEE Transactions on Electron Devices 47 (4) : 734 ~ 740
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