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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Yongsup Yun (Korea Maritime University)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제37권 제2호
발행연도
2013.3
수록면
144 - 148 (5page)

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In this paper, the ultra water-repellent thin films were prepared by RF PECVD. On the basis of surface morphology, chemical bonding states and plasma diagnostics, a formation model of clusters for the ultra water-repellent films was discussed from considerations of formation process and laser scattering results. Moreover, using laser scattering method, the relative change of quantity of nano-clusters or size of agglomerates could be confirmed. From the results, the films were deposited with nano-clusters and those of agglomerates,
which formed in organosilicon plasma, and formation of agglomerates were depended on the deposition time.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental procedure
3. Results and discussion
4. Summary
References

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