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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.11
- 수록면
- 255 - 260 (6page)
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Shadow moire is intensifying for measurements of warpage of electrical devices. While the method have served nicely, there is a demand for high sensitivity. In this paper, in order to enhance the sensitivity, the non-zero Talbot distance to achieve the large dynamic range as well as high precision was utilized. An optimal optical configurations of the system for the best fringe contrast was also proposed. the non-zero Talbot distance to achieve the large dynamic range as well as high precision was utilized. An optimal optical configurations of the system for the best fringe contrast was also proposed.
목차
Abstract
1. 서론
2. 그림자 무아레 원리
3. 그림자 무아레 시스템 구성
4. 그림자 무아레 시스템의 실험조건 평가
5. 결론
참고문헌
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