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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이은경 (부산대학교) 강충길 (부산대학교)
저널정보
한국소성·가공학회 소성·가공 소성가공 제17권 제8호
발행연도
2008.12
수록면
633 - 642 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

열간나노압입공정을 이용한 극미세 점구조체 제작을 위한 플라스틱소재 판의 기계적 특성 조사
이은경 ,  강충길 소성·가공 2008.12 학술저널
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극미세 점 구조체 제작을 위한 열간나노압입 공정에서의 평판형 PMMA의 크립현상에 관한 연구
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초록· 키워드

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It’ important to measure quantitative properties about thermal-nano behavior of polymer for producing high quality components using Nanoimprint lithography process. Nanoscale indents can be used to make the cells for molecular electronics and drug delivery, slots for integration into nanodevices, and defects for tailoring the structure and properties. In this study, formability of polymethylmetacrylate(PMMA) and polycarbonate(PC) were characterized Polymer has extreme variation in thermo mechanical variation during forming high temperature. Because of heating the polymer, it becomes softer than at room temperature. In this case it is particularly important to study high temperature-induced mechanical properties of polymer. Nanoindenter XP(MTS) was used to measure thermo mechanical properties of PMMA and PC. Polymer was heated by using the heating stage on NanoXP. At CSM(Continuous Stiffness Method) mode test, heating temperature was 110℃, 120℃, 130℃, 140℃ and 150℃ for PMMA, 140℃, 150℃, 160℃, 170℃ and 180℃ for PC, respectively. Maximum indentation depth was 2000nm. At basic mode test, heating temperature was 90℃ and 110℃ for PMMA, 140℃, 160℃ for PC. Maximum load was 10mN, 20mN and 40mN. Also indented pattern was observed by using SEM and AFM. Mechanical properties of PMMA and PC decreased when temperature increased. Decrease of mechanical properties from PMMA went down rapidly than that of PC
#Thernal-Nanoindentation #Hardness #Elastic Modulus #Plate-type Polymer #Polymethylmetacrylate(PMMA) #Polycarbonate(PC) #Nanoindenter #SEM #AFM

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법 및 소재
3. 결과 및 토론
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [보고서] - D. Hardt / 2004 / Process Control in Micro- Embossing-A Review google schola 2. [학술지(정기간행물)] - C. G. Choi / 2004 / Fabrication of optical waveguides in thermosetting polymers using hot embossing / J. Micromech. Microeng 14 : 945 ~ 949 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - W. S. Kim / 2005 / Nanopatterning of photonic crystals with a photocurable silica–titania organic–inorganic hybrid material by a UV-based nanoimprint technique / J. Mater. Chem 15 : 4535 ~ 4539 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Noda / 2006 / Direct Fabrication of Photonic Crystal on Glass Substrate by Nanoimprint Lithography / Japanese Journal of Applied Physics 45 (7) : 210 ~ 212 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - B. Heidari / 2000 / Nanoimprint lithography at the 6 in. wafer scale / J. Vac. Sci. Technol. B 18 (6) : 3557 ~ 3560 google schola

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