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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
박병현 (청주대학교) 유연석 (청주대학교)
저널정보
한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제11권 제1호(JKIIT, Vol.11, No.1)
발행연도
2013.1
수록면
51 - 61 (11page)
DOI
10.14801/kiitr.2013.11.1.51

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본 연구는 규칙반사면의 표면 형상을 측정하기 위한 무늬 반사식 푸리에 변환 형상 측정(Fourier Transform profilometry : FTP) 방법의 보정 데이터를 구하기 위한 실험적 연구이다. 무늬 반사식 FTP 방법을 사용하여 구한 위상 측정값과 실제 높이값 사이의 보정 데이터를 구하기 위하여 CCD 카메라, 모니터, 정밀 이동 스테이지 등으로 측정 시스템을 구성하였다. 무늬 반사 기준면은 실제 높이 변위값을 측정하기 위하여 정밀 스테이지를 사용하여 선형 이동시켰고, 또한 이론적 모사 데이터와 비교하였다. 실험 측정 결과 보정 데이터는 격자 무늬의 공간주파수와 CCD 카메라 및 기준 물체면 사이의 각도와 기하학적 배치에 의존함을 보였다. 실험적으로 측정한 결과들을 사용하여 실제 높이 변위와 위상 측정값들 사이의 상면 각 점에서의 보정 계수 k(u,v)를 구하였다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

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