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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 19 - 25 (7page)
이용수
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본 연구에서는 벌지 실험을 이용하여 티타늄 박막의 기계적 물성을 측정하였다. 벌지 실험은 외적 지지구조를 가지지 않는 박막 시편의 한 면에 일정한 압력을 가하여 박막의 변위를 측정, 압력과 변위의 관계를 이용하여 박막의 기계적 물성을 측정하는 실험이다. 스퍼터링을 이용해 증착된 티타늄 박막의 두께는 1.0, 1.5, 2.0 ㎛ 이고, 물성의 열처리 시간에 대한 영향을 알아보기 위해 증착된 시편은 600 ℃에서 각각 150, 300, 600 초 동안 열처리 되었다. 박막의 탄성 계수, 잔류 응력, 항복 응력이 벌지 실험을 통해 측정되었고, 실험 결과 항복 응력은 열처리 시간에 의존하는 특성을 확인하였다. 또한 시편 두께가 감소할수록 강도가 증가하는 크기효과를 관찰하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 기본 이론
3. 실험 장비 및 결과
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (24)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Ding, J. N. / 2000 / Specimen Size Effect on Mechanical Properties of Polysilicon Microcantilever Beams Measured by Deflection Using a Nanoindenter / Mater. Sci. Eng B83 : 42 ~ 47
2. [학술지(정기간행물)] - Fleck, N. A. / 1994 / Strain Gradient Plasticity : Theory and Experiment / Acta Metal. Mater 42 (2) : 475 ~ 487
3. [학술지(정기간행물)] - Stölken, J. S. / 1998 / A Microbend Test Method for Measuring the Plasticity Length Scale / Acta Materialia 46 (14) : 5190 ~ 5115
4. [학술지(정기간행물)] - Connolley, T. / 2005 / A Review of Deformation and Fatigue of Metals at Small Size Scales / Fatigue Fract. Engng. Mater. Struct 28 : 1119 ~ 1152
5. [단행본] - Beams, J. W. / 1959 / in Structure and Properties of Thin Films of Gold and Silver / John Wiley and Sons : 183 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Fleck, N. A. / 1994 / Strain Gradient Plasticity : Theory and Experiment / Acta Metal. Mater 42 (2) : 475 ~ 487
3. [학술지(정기간행물)] - Stölken, J. S. / 1998 / A Microbend Test Method for Measuring the Plasticity Length Scale / Acta Materialia 46 (14) : 5190 ~ 5115
4. [학술지(정기간행물)] - Connolley, T. / 2005 / A Review of Deformation and Fatigue of Metals at Small Size Scales / Fatigue Fract. Engng. Mater. Struct 28 : 1119 ~ 1152
5. [단행본] - Beams, J. W. / 1959 / in Structure and Properties of Thin Films of Gold and Silver / John Wiley and Sons : 183 ~
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