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논문 기본 정보

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저자정보
Takayuki Shiraishi (Yokohama National University) Hiroshi Fujimoto (Yokohama National University)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS-SICE 2009
발행연도
2009.8
수록면
23 - 28 (6page)

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This paper addresses the development of amplitude modulation atomic force microscopes (AM-AFM). The output of the AM-AFM is obtained from amplitude demodulation of the excited cantilever tip position. Thus, when the amplitude of the cantilever tip position is zero or maximum value, the output will be saturated. The output saturation prevents disturbance suppression. In this paper, the anti-saturation surface topography observer which improves the output saturation is proposed. The proposed method estimates the unsaturated output and uses it for the feedback loop. Finally, effectiveness of a proposed method is shown by simulation and experimental results.
#Atomic force microscope #Dynamic mode AFM #Nanoscale servo control #Observer #Saturatio

목차

Abstract
1. CONTROL DESIGN
2. CONTROL SYSTEM DESIGN WITH OUTPUT SATURATION CONSIDERATION
3. SIMULATIONS
4. EXPERIMENTAL RESULTS
5. CONCLUSION
REFERENCES

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