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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 2,903 - 2,906 (4page)
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The possibility of mechano-chemical transduction for bio/chemical events have generated wide interest in the expanding applications of genomics, diagnostics, and monitoring environment due to a label-free and realtime technology. For those purposes, most popular technology is a cantilever which has fast, label free, and high sensitive. Furthermore, new paradigm of membrane transducer easily coat probe molecule on the one side of it. At this time, we present a highly reliable thin membrane transducer (TMT) ?based mechanochemical sensing platform fabricated with conventional MEMS process. This device is suspended with thin silicon nitride membrane (100 nm) , lower electrode. The counter electrode is effectively built up on just one wafer. The cavity side of the membrane is coated with thin gold (30 nm) for molecular immobilization and reaction. We confirm the specific reaction of 4, 6- mercapto hexanol molecule with our platform.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과
4. 결론
5. 후기
참고문헌
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