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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 2,824 - 2,827 (4page)
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An alternative fabrication material for casting molds using soft-lithography is presented. A commercial OHP film is applied as the substrate of photolithography, as a substitute for silicon or glass wafers. Unlike from conventional wafers, OHP film is flexible, easy and safe to handle, additionally the total cost for making SU-8 patterned master on OHP is less than half of conventional photolithography process due to the extremely low cost. Especially, proper feature quality of patterned PR is achieved for the not only the field of microfluidics but also biochips of micron scale. And we developed a film master holder which enhances the convenience for peeling off PDMS replica from film masters and holds the patterned film flat. Due to the high quality patterned features achieved on film masters, it can be the basis for various applications of photolithography. For instance, flexibility makes it possible to fabricate pseudo 3D molds or in-time double side soft-lithography.
목차
Abstract
1. 서론
2. 필름을 이용한 마스터 제작
3. PR 패턴의 내구성 및 정밀도
4. 필름 마스터 활용을 위한 지그 개발
5. 광투과성 플렉시블 필름 마스터를 이용한 응용 연구
6. 결론
후기
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