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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.12
- 수록면
- 1,529 - 1,534 (6page)
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본 연구에서는 DIC 법을 이용하여 두께 12 μm 의 구리박막에 대한 인장시험을 수행하였다. 시험결과 정밀한 응력-변형률 곡선의 시험결과를 얻을 수 있었으며, 특히 잉크젯프린터를 이용한 시험편 표면 스펙클패턴의 작성은 DIC 법을 적용하기가 어려운 시험편 표면의 콘트라스트가 낮은 경우에 유용하게 사용할 수 있을 것이다. 측정된 구리박막의 기계적 물성은 탄성계수 E = 89.2 GPa, 0.2% 오프셋 항복응력 S<SUB>0.2%</SUB> = 232.8 MPa, 인장강도 S<SUB>u</SUB> = 319.2 MPa, 파단연신률 ε<SUP>f</SUP> = 16.8 %, Poisson 비 ν = 0.34 의 결과를 얻었으며, 탄성계수는 알려진 벌크소재에 대한 결과보다는 작다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 시험결과 및 검토
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Weihs, T. P. / 1988 / Mechanical Deflection of CantileverMicrobeams: a New Technique for Testing theMechanical Properties of Thin Films / J Mater Res 3 : 931 ~ 942
2. [학술지(정기간행물)] - Schweitz, J. A. / 1992 / Mechanical Characterization of Thin Films by Micromechanical Techniques / MRS Bull 17 : 34 ~ 45
3. [단행본] - Beams, J. W. / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley : 183 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Bromley, E. I. / 1983 / A Technique for the Determination of Stress in Thin Films / J Vac Sci Technol B 1 : 1364 ~ 1366
5. [학술지(정기간행물)] - Tsuchiya, T. / 1998 / Specimen Size Effect on Tensile Strength of SurfaceMicromachined Polycrystalline Silicon Thin Films / JMicroelectromech Syst 7 : 106 ~ 113
2. [학술지(정기간행물)] - Schweitz, J. A. / 1992 / Mechanical Characterization of Thin Films by Micromechanical Techniques / MRS Bull 17 : 34 ~ 45
3. [단행본] - Beams, J. W. / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley : 183 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Bromley, E. I. / 1983 / A Technique for the Determination of Stress in Thin Films / J Vac Sci Technol B 1 : 1364 ~ 1366
5. [학술지(정기간행물)] - Tsuchiya, T. / 1998 / Specimen Size Effect on Tensile Strength of SurfaceMicromachined Polycrystalline Silicon Thin Films / JMicroelectromech Syst 7 : 106 ~ 113
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