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저자정보
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2003
발행연도
2003.10
수록면
1,295 - 1,299 (5page)

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목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. MASS FLOW CONTROLLER
3. FUZZY ALGORITHM AND FLOW COMPENSATOR
4. EXPERIMENT OF MFC CONTROL
5. CONCLUSION
REFERENCES

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