지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
기존의 Okamoto cavity를 변형시킨 WR-340 도파관을 사용한 cavity를 제작하고 고출력(2.45 GHz, 2 kW)의 헬륨, 질소 및 아르곤 마이크로파 플라즈마(MIP; Microwave Induced Plasma)를 성공적으로 형성시켰다. 플라즈마 생성의 주요한 요인들은 내부전도체의 직경과 내부전도체와 외부전도체간의 간격, 내부전도체 끝과 토치의 위치 등이 있으며 그 중 헬륨 마이크로파 플라즈마에 대하여 cavity의 디자인을 최적화시키고 그 특성을 조사하였다. ICP(Inductively Coupled Plasma)용 mini 토치와 자체 제작한 나선형흐름토치를 비교 연구한 결과, 헬륨 플라즈마 기체 흐름량은 약 25 L/min~30 L/min로서 서로 비슷하였다. 토치 상단부에 석영관을 덧씌워 공기유입을 막은 결과, 340 nm 근처의 NH분자선들이 없어지거나 감소하였다. 플라즈마의 온도 및 전자밀도를 측정한 결과, 4,350 K의 들뜸 온도와 3.67×10<SUP>11</SUP> /cm<SUP>3</SUP>의 전자 밀도를 얻었다. 이 값들은 기존의 다른 마이크로파 플라즈마와 비슷하거나 약간 작은 값이다. 고출력의 플라즈마로서 수용액을 직접 분석하는 것이 가능하였고 현재 Cl의 검출한계는 116 mg/L 수준으로서 아직 분석적인 최적화가 필요한 단계이다.
목차
Abstract
요약
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (29)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - C. I. M. Beenakker / 1978 / / Spectrochim. Acta 33B : 373 ~ 381
2. [학술지(정기간행물)] - K. G. Michlewicz / 1985 / / Anal. Chem 57 : 1092 ~ 1095
3. [학술지(정기간행물)] - R. D. Deutsch / 1985 / / Appl. Spectrosc 39 : 214 ~ 222
4. [학술지(정기간행물)] - M. Moisan / 1975 / / IEEE transactions on Plasma Science PS-3 : 55 ~ 59
5. [학술지(정기간행물)] - M. Moisan / 1979 / / J. Microwave Power 14 : 57 ~ 61
2. [학술지(정기간행물)] - K. G. Michlewicz / 1985 / / Anal. Chem 57 : 1092 ~ 1095
3. [학술지(정기간행물)] - R. D. Deutsch / 1985 / / Appl. Spectrosc 39 : 214 ~ 222
4. [학술지(정기간행물)] - M. Moisan / 1975 / / IEEE transactions on Plasma Science PS-3 : 55 ~ 59
5. [학술지(정기간행물)] - M. Moisan / 1979 / / J. Microwave Power 14 : 57 ~ 61
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-433-001093883