웨이퍼 정렬기의 SECS/GEM 통신 구현 및 운용시험

조재근 ,  박홍래 ,  유준

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Single Object Access Protocol을 이용한 웹 기반 GEM 모델 설계 및 구현

강원준 ,  박홍성

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

Performance of Gas Electron Multiplier (GEM) detector

Han ,  S.H. ,  Moon 외 9명

방사선방어학회지

2003 .01

G-PON TC 계층 유료부하 내에서 고속 GEM 프레임 동기회로 구현

정해 ,  권영진

한국통신학회논문지

2009 .05

Design of a High Efficiency Neutron Detector Using a GEM

Kim ,  Yong Kyun ,  Pa 외 4명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2004 .01

Switching for enhanced link efficiency in GEM mode GPONs

Ajung Kim ,  Yu-Keun Kim ,  Tae Sung Pa 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

2004 .11

윈도우 기반 SECS 프로토콜 구현에 관한 연구

김두용 ,  반웅

한국통신학회 학술대회논문집

2006 .07

중성자 측정을 위한 GEM 검출기 재구성

박광준 ,  박세환 ,  이태훈 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2011 .01

3차원 유한요소해석을 이용한 기체전자증폭기의 1차 전자수집효율의 계산

김호경 ,  조민국 ,  정민호 외 4명

방사선방어학회지

2005 .01

반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현

김대원 ,  전종만 ,  이병훈 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현

김대원 ,  전종만 ,  이병훈 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현

김대원 ,  전종만 ,  이병훈 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

SECS 통신을 이용한 장비 데이터 모니터링 시스템 설계에 따른 시스템 구축

곽유강 ,  김원태

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Mini - MAP을 위한 범용 접속장치 개발

김현기 ,  이전우 ,  하정현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .10

웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가

박홍래 ,  유준

제어로봇시스템학회 논문지

2002 .09

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01