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본 논문에서는 액체의 전기 전도도를 저잡음으로 검출하기 위하여 동기복조를 이용하는 전도도 검출기를 설계한다. 이를 위하여 검출기는 반송파 발생기, 전도도 검출 셀, 전류-전압 변환기 및 동기 복조기로 구성하며, 복조기의 대역폭을 조정하여 검출기의 신호 대 잡음비(SNR)를 개선함으로써, 액체의 극미한 전도도도 용이하게 측정할 수 있도록 한다. 이의 응용 예로써, 반도체 공정의 공기감시용 전도도 검출기를 동기복조를 이용하여 설계하며, 실험을 통하여 설계의 타당성을 확인한다. 실험 결과, 검출기는 설계 성능에 부합하는 특성을 나타내므로, 동기복조를 이용한 전도도 검출기는 액체의 극미한 전도도 측정에 유용하게 사용될 수 있음을 입증하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 잡음 및 전도도
Ⅲ. 전도도 검출기
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
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1. [학술지(정기간행물)] - S. L. Schiefelbein / 1998 / A high-accuracy calibration- free technique for measuring the electrical conductivity of liquids / Rev. of Scientific Instrum 69 : 3308 ~ 3313
2. [학술지(정기간행물)] - H. Ma / 2009 / Calibration-free measurement of liquid permittivity and conductivity using electrochemical impedance test cell with servomechanically adjustable cell constant / IEEE Sensors J 9 : 515 ~ 524
3. [학술대회논문] - S. Ma / 2002 / Sensor impedance spectrum measurement interface with lock-in amplifier / 2002 Proc. of IEEE Sensors 2 : 1313 ~ 1316
4. [학술대회논문] - P. Wasilek / 2003 / LTCC liquid conductivity detector / 26th Int. Spring Seminar on Electronics Technol : 202 ~ 206
5. [학술대회논문] - M. O. Sonnaillon / 2005 / Implementation of a high-frequency digital lock-in amplifier / 2005 Canadian Conf. on Electrical and Computer Eng : 1229 ~ 1232
2. [학술지(정기간행물)] - H. Ma / 2009 / Calibration-free measurement of liquid permittivity and conductivity using electrochemical impedance test cell with servomechanically adjustable cell constant / IEEE Sensors J 9 : 515 ~ 524
3. [학술대회논문] - S. Ma / 2002 / Sensor impedance spectrum measurement interface with lock-in amplifier / 2002 Proc. of IEEE Sensors 2 : 1313 ~ 1316
4. [학술대회논문] - P. Wasilek / 2003 / LTCC liquid conductivity detector / 26th Int. Spring Seminar on Electronics Technol : 202 ~ 206
5. [학술대회논문] - M. O. Sonnaillon / 2005 / Implementation of a high-frequency digital lock-in amplifier / 2005 Canadian Conf. on Electrical and Computer Eng : 1229 ~ 1232
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