지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
This paper proposes an automatic measurement sampling method for the semiconductor manufacturing process. The method recommends sampling rates using information of process capability indexes and production scheduling plan within the restricted metrology capacity. In addition, it automatically controls the measurement WIP (Work In Process) using measurement priority values to minimize the measurement risks and optimize the measurement capacity. The proposed sampling method minimizes measurement controls in the semiconductor manufacturing process and improves the fabrication productivity via reducing measurement TAT (Turn Around Time), while guaranteeing the level of process quality.
목차
Abstract
1. 서론
2. 기존 계측 샘플링 방식의 한계점
3. 새로운 자동 계측 샘플링 방식
4. 시뮬레이션 평가 및 적용 결과
5. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. Lee / 2001 / A new intelligence SOFM-based sampling plan for advanced process control / Expert Systems with Applications 20 (2) : 133 ~ 151
2. [학술지(정기간행물)] - J. Lee / 2002 / Artificial intelligence-based sampling planning system for dynamic manufacturing process / Expert Systems with Applications 22 (2) : 117 ~ 133
3. [학술지(정기간행물)] - A. Holfeld / 2007 / A fab-wide APC sampling application / IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 20 (4) : 393 ~ 399
4. [학술대회논문] - M. Purdy / 2007 / Dynamic, weight-based sampling algorithm / Proc. ISSM Int. Symp. Semicond. Manuf. : 1 ~ 4
5. [학술대회논문] - S-B. Lee / 2003 / A capacity- Dependence Dynamic SamplingStrategy / 2003 IEEE International Symposium onSemiconductor Manufacturing : 312 ~ 314
2. [학술지(정기간행물)] - J. Lee / 2002 / Artificial intelligence-based sampling planning system for dynamic manufacturing process / Expert Systems with Applications 22 (2) : 117 ~ 133
3. [학술지(정기간행물)] - A. Holfeld / 2007 / A fab-wide APC sampling application / IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 20 (4) : 393 ~ 399
4. [학술대회논문] - M. Purdy / 2007 / Dynamic, weight-based sampling algorithm / Proc. ISSM Int. Symp. Semicond. Manuf. : 1 ~ 4
5. [학술대회논문] - S-B. Lee / 2003 / A capacity- Dependence Dynamic SamplingStrategy / 2003 IEEE International Symposium onSemiconductor Manufacturing : 312 ~ 314
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
평균 샘플 수 최소화를 통한 계량형 반복 샘플링 검사의 설계
박희곤
,
문영건
,
전치혁
외 3명
대한산업공학회지
2004
.09
반도체 생산 설비 이상 감지 시스템 구축을 통한 DC 설비의 FOUP 대기시간 단축에 관한 연구
백웅민
,
이종섭
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015
.05
[A4 생산스케줄링] 시뮬레이션에 기초한 일정계획 시스템에서의 납기산정 절차
박문원
,
최성훈
,
이근철
외 1명
한국경영과학회 학술대회논문집
2002
.06
Virtual Metrology Technique for 100% Wafer-to-Wafer Variation Monitoring in the Semiconductor Manufacturing Processes
Baejin Lee
,
Yooseok Jang
,
Yusin Yang
외 4명
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2013
.05
다양한 형태의 지문 이미지 분류를 위한 영역별 방향특징 추출 방법
정혜욱
,
이지형
제어로봇시스템학회 논문지
2012
.09
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-560-003353559