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첨단 고가 장비로 구성된 반도체, FPD(Flat Pannel Display : LCD/AMOLED/PDP 등) 산업에서 설비관리의 중요성이 비중 있게 대두됨에 따라 보전업무(정비/수리/유지보수)를 표준화하거나 시스템을 구축하여 설비의 생산성을 극대화하는 노력이 이루어 지고 있다.
본 논고에서는 반도체/FPD 산업의 자동화 라인에 구축되어 운영중인 설비관리의 기능 중에서, MES와 연동되어 물류 설비의 interlock 기능을 수행하고 설비관점의 보다 정확한 MTBF, MTTR 등의 지표를 산출하는 시스템의 현장 적용사례를 살펴본다.
본 논고에서는 반도체/FPD 산업의 자동화 라인에 구축되어 운영중인 설비관리의 기능 중에서, MES와 연동되어 물류 설비의 interlock 기능을 수행하고 설비관점의 보다 정확한 MTBF, MTTR 등의 지표를 산출하는 시스템의 현장 적용사례를 살펴본다.
목차
1. Executive Summary
1. 서론
2. FAB 라인의 Full Automation
3. MES와 설비관리 시스템간의 설비상태 연동
4. 결론
참고문헌
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