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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.7 No.4
- 발행연도
- 2012.7
- 수록면
- 558 - 563 (6page)
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In this paper, a novel planar type magnetic levitation system without other assistant devices is proposed and it can move with 6 degree of freedom (X, Y, Z, θX, θY, θZ) in wafer size as well as in nano scale positioning.The mover is composed with 2-D Halbach permanent magnet array and the stator is composed with 10 x 10 coil arrays.It was composed in laboratory and tested with short stroke (4 [㎜]) and long stroke (160 [mm])movements. The errors of short movement test is [X, Y, Z, θX, θY, θZ]≤ [±200㎚, ±200㎚, ±250㎚, ±3urad, ±2urad, ±1urad]The errors of long stroke movement test is [X, Y, Z, θX, θY, θZ]≤ [±200㎚, ±200㎚, ±250㎚, ±1.5urad, ±2urad, ±0.5urad].
목차
Abstract
1. Introduction
2. The Proposed Magnetic Levitation Stage for Wide Area Movement
3. The Results of Experiment
4. Conclusions
References
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. Kim / 1998 / Modeling and Vector Control of Planar MagneticLevitator / IEEE Trans. On Industry Applications 34 (6) : 1254 ~ 1262
2. [학술지(정기간행물)] - X. S. Shan / 2002 / Ultra Precision Motion Control of a Multiple Degrees of Freedom Magnetic Suspension Stage / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 7 (1) : 67 ~ 78
3. [학술지(정기간행물)] - M.Y.Chen / 2003 / A Novel dual axis repulsive maglev guiding system with permanent magnet: modeling and controller design / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 8 (1) : 77 ~ 86
4. [학술대회논문] - W.J. Kim / 2004 / Integrated multidimensional positioner for precision manufacturing / Proc. Instn Mech. Engrs 218 : 431 ~ 442
5. [학술지(정기간행물)] - M. Maggiore / 2004 / Modeling and Control Design for a Magnetic Levitation System / International Journal of Control 10 : 964 ~ 977
2. [학술지(정기간행물)] - X. S. Shan / 2002 / Ultra Precision Motion Control of a Multiple Degrees of Freedom Magnetic Suspension Stage / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 7 (1) : 67 ~ 78
3. [학술지(정기간행물)] - M.Y.Chen / 2003 / A Novel dual axis repulsive maglev guiding system with permanent magnet: modeling and controller design / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 8 (1) : 77 ~ 86
4. [학술대회논문] - W.J. Kim / 2004 / Integrated multidimensional positioner for precision manufacturing / Proc. Instn Mech. Engrs 218 : 431 ~ 442
5. [학술지(정기간행물)] - M. Maggiore / 2004 / Modeling and Control Design for a Magnetic Levitation System / International Journal of Control 10 : 964 ~ 977
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