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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.6
- 수록면
- 85 - 91 (7page)
이용수
초록· 키워드
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본 논문에서는 플라즈마 질화의 이해를 높이기 위해 관련 기술에 대한 전반적인 소개와 향후 플라즈마 질화 기술의 적용이 기대되는 침탄대체 적용 가능 부품, 침류질화 기술, PECVD 공정과의 접목 등 산업적인 응용 측면에서 응용 분야에 대한 소개를 진행하고 질화에 따른 특성을 비교하였다.
목차
Abstract
기호 설명
1. 서론
2. 질화 기술의 정의 및 특징
3. 질화 기술의 적용 효과
4. 질화 기술의 주요 적용 분야
5. 결론
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-550-002718172