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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 ISOCC ISOCC 2007 Conference
발행연도
2007.10
수록면
77 - 80 (4page)

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목차

Abstract
1. Introduction
2. MEMS Transimissive Scanning Confocal Microscope
3. Conclusion and Future Direction
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