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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김강삼 (한국생산기술연구원) 조용기 (열·표면연구그룹)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제44권 제6호
발행연도
2011.12
수록면
264 - 268 (5page)

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2011

태양전지 CIGS용 Mo 후면전극의 전기 저항에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회지 2011.12 학술저널
태양전지 CIGS용 Mo 후면전극의 전기 저항성에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2011.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The Molybedenium thin film is generally used on back contact material of CIGS solar cell due to low electrical resistivity and stable thermal expansion coefficient. The Mo thin films deposited on si wafer by the magnetron sputtering method. The research focused on the variation of electrical resistivity of films which deposited with various working pressure at the target power of 2.0 kW(8.4 W/). The lowest resistivity of Mo thin film showed 9.0 μO-cm at pressure of 1.5 mTorr. However, working pressure increasing up to 50 mTorr, resistivities were highly increased. The results showed that the conductivity of Mo films depended on growing structures and defects in deposition process. Surface morphology, porosity, grain size, oxidation, and bonding structures were analysed by SEM, AFM, spectroscopic ellipsometry (SE), XRD, and XPS.
#Mo films #CIGS #Sputtering #Electrical resistivity #Porosity #Oxidation

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (14)

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1. [학술지(정기간행물)] - A. Rockett / 1999 / / Solar Energy Mater. Solar Cells 59 : 255 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - N. G. Dhere / 2005 / / Mater. Sci. Eng. B 116 : 303 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - L. Assmann / 2005 / / Appl. Surf. Sci 246 : 159 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - J. H. Scofield / 1995 / / Thin Solid Films 260 : 26 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 조용기 / 2011 / / 생산기술연구논문집 23 : 221 ~ google schola

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