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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.7 No.1
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 86 - 90 (5page)
이용수
초록· 키워드
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A two-dimensional nonlocal heating theory of planar-type inductively coupled plasma source has been previously reported with a filamentary antenna current model. However, such model yields an infinite value of electric field at the antenna position, resulting in the infinite self-inductance of the antenna. To overcome this problem, a surface current model of antenna should be adopted in the calculation of the electromagnetic fields. In the present study, the reactor impedance is calculated based on the surface current model and the dependence on various discharge parameters is studied. In addition, a simpler method is suggested and compared with the surface current calculation.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Description of the Calculation
3. Numerical Results and Discussion
4. Conclusion
Acknowledgements
References
참고문헌 (1)
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