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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
Wei Ao (INHA University) Jae-Sung Lim (INHA University) Paik-Kyun Shin (INHA University)
저널정보
대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.6 No.6
발행연도
2011.11
수록면
836 - 841 (6page)

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Plasma polymerized methyl methacrylate (ppMMA) thin films were deposited by plasma polymerization technique with different plasma powers and subsequently thermally treated at temperatures of 60 to 150 ℃. To find a better ppMMA preparation technique for application to organic thin film transistor (OTFT) as dielectric layer, the chemical composition, surface morphology, and electrical properties of ppMMA were investigated. The effect of ppMMA thin-film preparation conditions on the resulting thin film properties were discussed, specifically O-H site content in the ppMMA, dielectric constant, leakage current density, and hysteresis.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussions
4. Summary and Conclusion
Acknowledgment
References

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-560-000843456