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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
임선종 (한국기계연구원) 최지연 (한국기계연구원)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.20 No.5
발행연도
2011.10
수록면
517 - 522 (6page)

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Most of SEM is double condenser lens system. Two condenser lenses are required to provide the high demagnification ratios necessary for forming nanometer probes). The thin lens concept provides a highly useful basis for preliminary calculations in a broad range of situations. It is an easy way to understand the electron beam paths in column. Demagnification is easily calculated by this method). In this paper, we present design processes for condenser lens's demagnification by using thin lens combination model. Also, we verify the reliability of our design processes by comparing the modeled demagnification with these of corrected condenser lens.
#집속 렌즈(Condenser lens) #반배율(Demagnification) #초점 거리(Focal length) #얇은 렌즈(Thin lens) #빔 소스(Beam source)

목차

Abstract
1. 서론
2. 얇은 렌즈 조합에 의한 집속 렌즈 시스템의 모델링
3. 집속 렌즈 시스템의 설계
4. 집속 렌즈 시스템의 반배율 측정
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (10)

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1. [단행본] - Joseph, I. Goldstein / 1992 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / Plenum press : 1 ~ 272 google schola 2. [단행본] - John, L, T. / 1993 / Electron beam testing technology / Plenum press : 35 ~ 173 google schola 3. [단행본] - Ludwig, R. / 1998 / Scanning Electron Microscopy / Springer : 13 ~ 56 google schola 4. [단행본] - Pierce, J. R. / 1954 / Theory and design of electron beams / D. Van nostrand company : 72 ~ 114 google schola 5. [단행본] - Klemperer, O. / 1971 / Electron optics / Cambridge press : 20 ~ 131 google schola

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