Grooved SiO₂ 박막을 갖는 Mach-Zehnder Ti : LiNbO₃ 광변조기의 진행파형 CPW 전극설계

韓榮鐸; 金昌敏; 尹炯導; 林相圭; 安哲; 具暻煥

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저자정보: 韓榮鐸 (서울시립대학원) 金昌敏 (서울시립대학원) 尹炯導 (전자부품연구원) 林相圭 (서강대학교) 安哲 (서강대학교) 具暻煥 (전자부품연구원)

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌第37卷 SD編第11號

발행연도: 2000.11

수록면: 50 - 58 (9page)

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Grooved SiO₂ 박막을 갖는 Mach-Zehnder(M-Z)형태의 Ti:LiNbO₃ 진행파 광변조기의 전극구조를 변화시켜가며 유한요소법에 의한 해석을 수행하였다. 최적의 설계치를 추출하였으며, 제작된 전극에 대하여 특성임피던스 (Zo), 마이크로파 유효굴절률 (Neff), 감쇠정수 (αo)를 측정하여 그 결과를 이론치와 비교하였다. 전극두께가 11㎛이고 SiO₂ 완충박막을 식각한 전극에 대하여, RF 측정결과로부터 계산된 3㏈ 변조대역폭은 18㎓로 나타났다.

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