지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.6
- 수록면
- 517 - 525 (9page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
차분 진동형 가속도계는 입력 가속도에 따른 공진 주파수의 변화를 감지하는 공진형 센서이다. 이 때 가속도계 전기적 동역학의 수학적 모델링 및 구조 특성의 실험적 검증이 정밀한 제어기 및 높은 양질계수를 가지는 구조 설계에 앞서 필요하게 된다. 본 논문에서는 차분 진동형 가속도계의 공진자, 전극 모듈 및 전치증폭기 등의 전기적 모델링을 제시한다. 이러한 모델링 기법은 공진 주파수, 유효 질량, 유효 강성, 양질 계수 등을 측정함으로써 실험적으로 검증된다. 또한 모델링을 통해 예측된 진폭과 측정된 전치증폭기 출력의 직접적인 비교는 본 연구의 유효성을 보여준다.
목차
ABSTRACT
초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 전기적 모델링
Ⅲ. 실험적 설계 검증
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학위논문] - Kevin A. Gibbons / 1992 / A Micromechanical Silicon Oscillating Accelerometer / 석사 / Massachusetts Institute of Technology
2. [학위논문] - Trey Allen William Roessig / 1992 / Integrated MEMS Tuning Fork Oscillators for Sensor Applications / 박사 / University of California, Berkeley
3. [학위논문] - 석선호 / 2004 / 항법급 수직형,수평형 차동공진형가속도계의 설계 및 해석 / 박사 / 서울대학교
4. [학술지(정기간행물)] - Manu Agarwal / 2008 / A study of electrostatic force nonlinearities in resonant microstructures / Physics Letters 92
5. [보고서] - 전창배 / 2008 / 전하증폭기형 가속도계 제어루프 설계
2. [학위논문] - Trey Allen William Roessig / 1992 / Integrated MEMS Tuning Fork Oscillators for Sensor Applications / 박사 / University of California, Berkeley
3. [학위논문] - 석선호 / 2004 / 항법급 수직형,수평형 차동공진형가속도계의 설계 및 해석 / 박사 / 서울대학교
4. [학술지(정기간행물)] - Manu Agarwal / 2008 / A study of electrostatic force nonlinearities in resonant microstructures / Physics Letters 92
5. [보고서] - 전창배 / 2008 / 전하증폭기형 가속도계 제어루프 설계
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Tensile Strength Property with PdCo-Cu Multi-Layer Lamination and Heat Treatment of MEMS Probe for Probe Card
So-Hee Hyun
,
Mi-Song Kim
,
Won Sik Hong
외 2명
대한용접·접합학회지
2024
.10
MEMS 관성센서 소개
박규철
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024
.05
MEMS 가속도계를 이용한 주행 중 차량 진동 측정 IoT 모듈 개발
박태정
,
유영훈
,
조형진
외 3명
한국자동차공학회논문집
2023
.07
MEMS 3축 가속도 센서의 Calibration에 관한 실험적 연구
박은수
,
김학일
대한전자공학회 학술대회
2007
.07
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-558-000640584