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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Yong-Sup Yun (한국해양대학교)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제35권 제3호
발행연도
2011.5
수록면
323 - 328 (6page)

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In this paper, the UWR thin films were prepared by RF PECVD. The relationships between the deposition conditions and the film properties such as morphological and chemical properties of the films were discussed. Moreover, from the analysis of plasma diagnostics using OES, formation mechanism of UWR thin films was discussed.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental procedure
3. Results and discussion
4. Summary
References
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