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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 479 - 485 (7page)
이용수
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열 전자 방출 형 전자 빔 장치에서 영상을 획득하기 위해서는 텅스텐 필라멘트에서 발생한 전자빔을 스캔 할 장치가 필요하다. 이때, 스캔 되는 주파수에 따라서 시료 표면에서 튀어 나오는 2차 전자신호에 대하여 잡음 성분의 발생이 다르게 나타난다. 본 연구에서는 잡음 성분 제거를 위한 필터설계를 위해서 2 차 전자신호에 대한 실시간 주파수 분석을 통해 신호와 잡음 성분을 구분했다. 그리고 부동 소수점 연산이 가능한 DSP 에서 디지털 필터 설계를 통하여 신호대비 잡음 성분 제거를 통하여 고배율로 획득한 전자현미경의 영상의 질을 향상 시켰다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 시스템 설계 및 신호 분석
3. 디지털 필터 설계
4. 실험 결과
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
2. [단행본] - JEOL / 2006 / Guide to Scanning Microscope, Observation / JEOL : 5 ~ 35
3. [단행본] - Millman, J / 1988 / Microelectronics / Mc Graw-Hill : 118 ~ 201
4. [단행본] - Goldstein, J. I. / 1989 / Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, Vol. 3 / Plenum Press : 119 ~ 123
5. [학술지(정기간행물)] - Kim, D.H. / 1993 / Basic Theory and Application of Scanning Electron Microscopy / Analytical Science & Technology 6 (2) : 53A ~ 61A
6. [학술대회논문] - Kim, D.H. / 2008 / Methodologies for Enhancing Performance of Scan Drivers in a Scanning Electron Microscope / Proceeding of the KSME 2008 Spring Annual Conference : 22 ~ 23
3. [단행본] - Millman, J / 1988 / Microelectronics / Mc Graw-Hill : 118 ~ 201
4. [단행본] - Goldstein, J. I. / 1989 / Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, Vol. 3 / Plenum Press : 119 ~ 123
5. [학술지(정기간행물)] - Kim, D.H. / 1993 / Basic Theory and Application of Scanning Electron Microscopy / Analytical Science & Technology 6 (2) : 53A ~ 61A
6. [학술대회논문] - Kim, D.H. / 2008 / Methodologies for Enhancing Performance of Scan Drivers in a Scanning Electron Microscope / Proceeding of the KSME 2008 Spring Annual Conference : 22 ~ 23
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