메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김선호 (동의대학교) 임한석 (하이브리드정밀)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제10권 제1호
발행연도
2011.2
수록면
1 - 7 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Micromachining is gaining popularity due to recent advancements in MEMS(Micro Electro Mechanical Systems). Using conventional micromachining, it is relatively difficult to produce moving components in the order of microns. Photolithography for silicon material has high accuracy machining, but it has low aspect ratio. X-ray lithography has ultra high accuracy machining, but it has expensive cost. Micro-EDM(electro discharge machining) has been gaining popularity as a new alternative method to fabricate micro-structures. In this study, Micro-EDM machine is developed available for fabricate micro-structures and two processes such as side cut EDM and milling EDM is proposed. Several sets of experiment results have been performed to study the characteristics of the machining process.
#Micromachining(미세가공) #Micro-Structures(마이크로 구조물) #EDM(방전가공) #Micro-EDM(마이크로 방전가공)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. EDM 머신 개발
3. 방전가공 프로세스
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Lim, H. S. / 2002 / Improvement of form accuracy in hybrid machining of microstructures / J. of electronic materials 31 (10) : 1032 ~ 1038 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Matsui, S. / 2001 / Three dimensional nanostructure fabrication by focused ion beam chemical vapor deposition / J. of JSPE 67 : 1412 ~ 1415 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Masuzawa, T. / 1989 / Drilling of deep micro-holes by EDM / Annals of CIRP 38 : 195 ~ 198 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Masuzawa, T. / 1994 / A combined electrical machining process for micronozzle fabrication / Annals of CIRP 43 : 189 ~ 192 google schola 6. [학술대회논문] - Kim, S. H. / 2010 / Machining Characteristics of EDM Milling for High Ratio Slot / Proceedings of KSPE conference : 286 ~ 287 dbpia

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Ecology 융합형 절삭공구 기술의 현황과 전망
강재훈 한국생산제조학회지 2009 .12
Using Electron-beam Resists as Ion Milling Mask for Fabrication of Spin Transfer Devices
Hoang Yen Thi Nguyen ,  Hyunjung Yi ,  Kyung-Ho Shin Journal of Magnetics 2007 .03
가상현실(VR)을 적용한 Mp3 Player 사용성 평가에 관한 연구
김현성 ,  이창선 한국디자인문화학회지 2009 .12
바이오 인식 기술 적용 현황 및 서비스 문제점 연구 : 모바일 기기를 중심으로
송초롱 ,  박재혁 ,  이재우 정보보호학회지 2015 .06
RS485 네트워크 기반의 4D 시네마 시스템 환경 연출 시 전송률과 에러율에 대한 연구
김해영 ,  이병수 한국정보기술학회논문지 2015 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-004322815