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박형원 (고려대학교) 변경재 (고려대학교) 조중연 (고려대학교) 이성환 (고려대학교) 한강수 (고려대학교) 이헌 (고려대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
42 - 43 (2page)

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Sapphire 기판에 GaN 박막을 성장할 때 생성되는 dislocation을 감소시키기 위해 나노임프린트 리소그래피 기술을 이용해 나노급 PSS 기판을 제작하였다. GaN 박막의 결정질을 판단하기 위해 XRD ro^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01593067');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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