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논문 기본 정보

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저자정보
Jinwoo Jeong (서울대학교) Kyuhwan Jung (서울대학교) Kuk jin (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications ICEIC : 2010
발행연도
2010.6
수록면
382 - 384 (3page)

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In this paper, two-step nickel plating technique with high plating rate and good thickness uniformity is explored for the purpose of fabrication of MEMS electrostatic microjet injectors. The electrostatic microjet injector is composed of composed of micro nozzles and high pressure micropump with thick nickel membrane. The effect of nickel membrane p ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Design
Ⅲ. Results
Ⅳ. Conclusions
Acknowledgments
References

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