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저자정보
김종국 (한국기계연구원) 김도근 (한국기계연구원) 이승훈 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
367 - 367 (1page)

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